azbil山武F4H流量计产品介绍

azbil山武F4H流量计产品介绍

Azbil（山武）F4H是一款高性能的小型数字式质量流量控制器（MFC），专为需要高速、高精度气体流量控制的工业应用设计。以下是其主要特点和产品介绍：

1. 高速与高精度控制

- 响应速度：F4H实现了0.3秒的高速控制，适用于需要快速调整流量的工艺，如半导体制造、溅镀（PVD）等。

- 控制精度：提供1%SP（设定点）的高精度，并支持100:1的宽范围控制，适用于从微小流量（如5 mL/min）到较大流量（60 L/min）的精确调节。

2. 紧凑型设计

- 体积缩小50%：相比Azbil传统型号，F4H的宽度仅28mm，节省安装空间，适合高密度设备布局。

- 优化配管间隔：薄型设计使得多台设备并排安装时更加紧凑，提高设备集成度。

3. 数字通信与IoT支持

- RS-485通信：取代传统模拟信号，可直接与PLC（可编程逻辑控制器）连接，减少模拟I/O模块需求，降低系统成本。

- 故障诊断功能：可上传流量、阀门驱动电流、自诊断报警等信息，便于远程监控和维护。

- 智能网关NX-SVG：无需编程即可与主流PLC通信，简化系统集成。

4. 抗干扰与稳定性

- 隔离电源设计：电源回路与信号回路隔离，避免电源噪声影响模拟信号，提高抗干扰能力。

- DC24V驱动：替代传统±15V专用电源，单电源可驱动多台F4H，降低供电成本。

5. 应用领域

- 半导体与电子制造：用于PVD（物理气相沉积）、溅镀等工艺的气体流量控制。

- 工业燃烧控制：适用于玻璃加工、钎焊等低压燃气流量管理。

- 实验室与精密仪器：支持多种气体（如氩气、氮气等），适用于科研及高精度流量控制需求。

6. 附加优势

- 低压力损失：采用μF传感器（微流量传感器），减少流路阻力，适合低压气体应用。

- 长期稳定性：传感器特性变化极小，确保长期使用仍保持高精度。

- 成本优化：通过数字通信、标准化电源及减少备件种类（支持多气体、多量程），降低总体拥有成本。

7. 市场认可与支持

- Good Design Award 2017：获奖评语称赞其“兼顾小型化、节能化及IoT化设计”。

- 30天免费试用：Azbil提供试用服务，便于用户评估性能。